隨著中國工業(yè)體系的不斷提高,高端制造領(lǐng)域的工業(yè)產(chǎn)品也逐漸增多,高性能材料尤其是高性能不銹鋼的應(yīng)用也大量普及。
而往往在高端不銹鋼的應(yīng)用領(lǐng)域中,常常會用到電化學(xué)拋光這種表面處理方式。雖然不銹鋼電化學(xué)拋光技術(shù)早在五六十年代就已經(jīng)開始應(yīng)用,但真正在國內(nèi)大量使用也就近十多年的時間。而在國外的發(fā)達國家,他們的高端制造業(yè)比我們起步早,因此在這方面的應(yīng)用則更廣泛、技術(shù)工藝更成熟。
生物醫(yī)藥、醫(yī)療器械、真空電子、半導(dǎo)體是不銹鋼高端應(yīng)用最典型的工業(yè)領(lǐng)域,尤以半導(dǎo)體行業(yè)要求最高。
很多人會有不解,為什么高端或高純凈的產(chǎn)品一定要使用電化學(xué)拋光處理?機械拋光或酸洗鈍化就不可以么?這就需要從相關(guān)產(chǎn)品的應(yīng)用場所的要求及不銹鋼電解拋光的特性來講起。
電化學(xué)拋光(Electrochemical Polishing),是以不銹鋼工件為陽極,不溶性金屬為陰極,兩極同時浸入到電化學(xué)拋光槽液中,通以直流電而產(chǎn)生有選擇性的陽極溶解,從而在不銹鋼工件表面形成一富鉻的氧化膜層,該膜層具有較高的光亮度。如果材料材質(zhì)越好,純度越高,其表面氧化膜層質(zhì)量就越好,光潔度越低,光亮度也越好,三者成正比關(guān)系。
由于不銹鋼電化學(xué)拋光屬于電化學(xué)陽極反應(yīng),其膜層是在工件本身母材的表面形成的,因此與母材是一個整體,且是同樣的金屬元素。它不會有與母材不同的金屬元素的脫落情況發(fā)生,從而影響使用。
由于不銹鋼電化學(xué)拋光所形成的表面氧化膜是一種富鉻層,含鉻比例越高,其耐腐蝕性則更好。該膜層成分與不銹鋼本體相比,其Cr/Fe比要大于母材料,ASME BPE-2016新標準中,要求Cr/Fe比>1,SEMI標準中,則要求HP等級中,Cr/Fe比和CrOX/FeOX比>1;在SEMI標準中UHP等級中則要求:Cr/Fe比>1.5,CrOX/FeOX比>2。在實際應(yīng)用中,Cr/Fe比有些企業(yè)甚至能做到>2.5~3。
我們都知道,不銹鋼材料在制作過程中,不可避免的表面會存在一些微小的缺陷,甚至?xí)幸恍┝鸭y,或者可能有異物顆粒附著在其表面。而在真空領(lǐng)域,材料也都會有“放氣“現(xiàn)象。電化學(xué)拋光過程可以將其表面剝落一層,一方面可以將異物脫離,另外可以將表面或淺表面的缺陷暴露出來。
對于生物醫(yī)藥、醫(yī)療器械、精細化工等領(lǐng)域,處理后的不銹鋼工件表面易清洗,不易結(jié)垢和滋生細菌,不會影響產(chǎn)品質(zhì)量或使用效果。
還有一點需要補充的,電化學(xué)拋光對于不銹鋼材料的要求也十分苛刻,不僅僅是要求不銹鋼材料中含碳量,以及鉻、鎳成分達到相關(guān)標準,還要求材料中的雜質(zhì)P、S、Mn、Si、Cu等有害元素以及O和H等近可能的最低,不是任何的不銹鋼材料都可以達到的。在半導(dǎo)體行業(yè)所使用的不銹鋼首選是316L,該材料是用經(jīng)過真空脫碳(VOD)316L不銹鋼,再通過真空感應(yīng)熔煉(VIM),然后再用真空電弧再熔化(VAR)處理所得的材料,純度高,奧氏體金相組織均勻一致。該材料所做的電解拋光處理效果是最佳的。
機械拋光(Mechanical Polishing)是高速運動的拋光材料與不銹鋼基體摩擦,在拋光力作用下,基體產(chǎn)生高溫從而表面發(fā)生塑性變形。并使周邊高溫氧化下瞬間形成的金屬表面的極薄氧化膜反復(fù)地被磨削下來,從而變得越來越光亮。整個拋光過程既具有機械的磨削作用,又同時發(fā)生物理和化學(xué)作用。拋光切削量較大,屬于一種宏觀整平。
機械拋光過程中,與電化學(xué)拋光相比,機械拋光會在不銹鋼表面留有拋光痕跡,表面還會形成冷作硬化的變形層(Beilby Layer),此外,還會將一些細小的拋光材料顆粒嵌入到不銹鋼表面。再者,機械拋光還會掩蓋一些表面下層的缺陷,隱藏隱患。
而常用的不銹鋼酸洗鈍化及化學(xué)鈍化,由于是化學(xué)反應(yīng),不及電化學(xué)反應(yīng)強烈,一方面,對基體表面的腐蝕量不充分;另一方面,所形成氧化膜層質(zhì)量也不如電化學(xué)拋光。清除表面雜質(zhì)效果差。
雜質(zhì)和純度的不到位,會嚴重影響到實際使用的效果。以當前半導(dǎo)體行業(yè)舉例,目前芯片采用最先進的工藝的是5nm,主流芯片生產(chǎn)工藝也在幾十nm左右,可想而知,nm級的異物都會對芯片的質(zhì)量造成致命性的影響。
這就是高端或高純凈的不銹鋼產(chǎn)品一定要使用電化學(xué)拋光處理的原因。
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